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高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション
平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究代表者 遠藤勝義、遠藤勝義、2004.4
116p 30cm