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「高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究」の検索結果

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高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305016)

南部健一研究代表者、南部健一、2001.3

84p 30cm

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