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高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究
平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究代表者 芳井熊安、芳井熊安、2004.5
21p 30cm