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高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 ＜課題研究成果報告書 2000＞

高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 ＜課題研究成果報告書 2000＞

Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits

伊藤吾朗 ほか著、軽金属奨学会、2000.6

123p 30cm

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