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「DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質」の検索結果

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DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189

冨井洋一研究代表、冨井洋一、1995.3

1冊 30cm

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