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「LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD」の検索結果

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LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

平成14-15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350021)

研究代表者 白谷正治、九州大学、2004.5

ii, 98p 30cm

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