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「MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究」の検索結果

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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書(06555094)

塩嵜忠研究代表、塩崎忠、1996.3

60p 30cm

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