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「Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究」の検索結果

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Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号07555409)

室田淳一研究代表者、室田淳一、1998.3

156p 30cm

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