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「UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発」の検索結果

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UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

平成9年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

後藤俊夫 [ほか著]、者不明、2000.3

60p 30cm

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