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高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

研究代表者 廣瀬和之、廣瀬和之、2006.3

42p 30cm

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