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「スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価 <科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書> 中佐 啓治郎」の検索結果

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スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

研究代表者 中佐啓治郎、広島大学大学院工学研究科、2003.3

58p 30cm

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