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「量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミユレーシヨン」の検索結果

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量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(研究課題番号07650925)

研究代表者 佐藤恒之、九州大学、1997.3

97p 30cm

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