理研シンポジウム「マイクロファブリケーション研究の最新動向」 : ミリストラクチャー生産技術の進展状況

書籍データ

Riken symposium : "advances in micro-fabrication techniques and research activities by development of milli-structure manufacturing technology" 理研シンポジウムマイクロファブリケーション研究の最新動向 : ミリストラクチャー生産技術の進展状況 理研シンポジウム第7回「マイクロファブリケーション研究の最新動向」 : ミリストラクチャー生産技術の進展状況

著者名：理化学研究所編他の作品を見る

出版社：理化学研究所(和光本所)素形材工学研究室

発売日：[2000]

99p 26cm

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