CMP技術大系

書籍データ

A library of CMP planarization technology & application

著者名：土肥俊郎, 木下正治 監修 ; 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 編他の作品を見る

出版社：グローバルネット

発売日：2006.6

788p 27cm

ISBN：4907847130