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イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成

イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成

イオン 注入 二酸化 シリコン中 ナノサイズ シリコン 微 結晶 形成

岩山勉 [著]、者不明、[1995]

86枚 30cm

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希土類 = Rare earths (28)

希土類 = Rare earths (28)

Rare earths 希土類討論会要旨集

日本希土類学会 編、日本希土類学会、1996-05

冊 26-30cm

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